干式真空泵應用廣泛，主要有以下幾個方面：

1、低壓化學氣相沉積多晶硅制備工藝；

2、半導體蝕刻工藝。在這些生產過程中，經常使用干式真空泵或產生腐蝕性氣體和磨料顆粒；

3、對于除半導體工藝外產生顆粒的某些工藝，預計顆粒不會混合到干式真空泵的泵油中，預計顆粒將從泵中排出。某些型號的干式機械真空泵可以滿足要求；

4、化工、制藥、食品等行業在蒸餾、干燥、脫氣和包裝過程中，應防止有機溶劑造成的污染，并應使用干式真空泵；

5、干式真空泵用作一般無油清潔真空系統的前泵，以防止油污染。